金属低温渗入
发布时间：2022-03-02 16:53:57 点击次数：20 文章作者：
——在金属基体表面低温下渗入金属离子。中国科学院力学研究所发明了一种金属低温渗入装置。这种装置包括气体通入和气体控制部分、真空系统与真空室相通、电弧蒸发源靶、触发引弧结构均安置在真空室内上部；真空室内下部设有一放置工件的转动机构带动的具有公转和自转的支架，直流电源的阴极与靶相连接，阳极与真空腔连接接地；其特征在于：还包括一高压直流脉冲电源，高压直流脉冲电源连接在工件阴极和真空腔之间，可调节孔径大小的挡板安置在电弧蒸发源的前端。
